干涉儀技術參數：5D/6D標準型：1.線性：0.5ppm.2.測量范圍：40米（1D可選80米）3.線性分辨力：0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍：800角秒6.滾動角精度：1.0角秒7.直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍：500um9.垂直度精度：1角秒10.溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg

從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。 IDS與各種目標和目標材料兼容。惠州激光干涉儀厚度測量

薄膜型半導體應變片

這種應變片是利用真空沉積技術將半導體材料沉積在帶有絕緣層的試件上或藍寶石上制成的。它通過改變真空沉積時襯底的溫度來控制沉積層電阻率的高低，從而控制電阻溫度系數和靈敏度系數。因而能制造出適于不同試件材料的溫度自補償薄膜應變片。薄膜型半導體應變片吸收了金屬應變片和半導體應變片的優點，并避免了它的缺點，是一種較理想的應變片。

外延型半導體應變片

這種應變片是在多晶硅或藍寶石的襯底上外延一層單晶硅而制成的。它的優點是取消了P-N結隔離，使工作溫度大為提高(可達300℃以上)。 電子激光干涉儀深度測量以太網Web界面（工業4.0）。

干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類，前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luo gan涉儀等。干涉儀的應用極為guang fan。長度測量在雙光束干涉儀中，若介質折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發生變化所造成，根據條紋的移動數可進行長度的精確比較或jue dui測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luo gan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。折射率測定兩光束的幾何路程保持不變，介質折射率變化也可導致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型干涉儀。應用于風洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進行實時觀察。

電壓影響

1 當電壓自額定值偏離±10%(對比率表和由化學電源和交流電網作供電電源的兆歐表)、±15%(對整流系儀表和鉗形表)或±20%(對其它儀表)時，由此引起儀表指示值的改變應不超過規定值。儀表輔助電路用電源、由內附手搖發電機作供電電源的兆歐表，當其電壓自額定值偏離±10%時，指示值改變應不超過表7 規定值的一半。指示值改變的表示方法與基本誤差表示方法相同。試驗在標度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點進行，整步表在同步點進行。如果在儀表上注明額定電壓范圍，則在此范圍內的任一電壓下，儀表基本誤差應不超過規定值。

2 檢驗電壓影響時應遵守有關規定(對電壓的規定除外)，且應除去變差影響(可輕敲表殼)。檢驗相位表和功率因數表時，在額定電流下進行；檢驗功率表時在額定功率因數下進行。 探頭安裝 在線性導軌上，在一個軸上移動探頭，而線性導軌則集成在一個橋中。

一次繞組可調，二次多繞組電流互感器。這種電流互感器的特點是變比量程多，而且可以變更，多見于高壓電流互感器。其一次繞組分為兩段，分別穿過互感器的鐵心，二次繞組分為兩個帶抽頭的、不同準確度等級的獨自繞組。一次繞組與裝置在互感器外側的連接片連接，通過變更連接片的位置，使一次繞組形成串聯或并聯接線，從而改變一次繞組的匝數，以獲得不同的變比。帶抽頭的二次繞組自身分為兩個不同變比和不同準確度等級的繞組，隨著一次繞組連接片位置的變更，一次繞組匝數相應改變，其變比也隨之改變，這樣就形成了多量程的變比。傳感器頭適用于極端環境： ? 低溫和高溫（比較高450°C），UHV兼容性， ? 強輻射（高達10MGy）和高磁場。測量激光干涉儀

三軸機床和坐標測量機的21種可能運動誤差的校準，復雜 且實惠。惠州激光干涉儀厚度測量

(6)半導體激光器計量特性的研究和創新。半導體激光器用于計量需要解決很多問題(如線寬、定標、變頻等)。但如果解決了諸多問題以后，半導體激光系統比氣體激光系統更復雜，就不會有競爭力。有些問題在物理層面上也沒有完全解決。例如半導體激光器如果能形成雙頻，無疑是一種十分重要的特性，如果既能掃頻又有兩個相近的頻率掃描，就會成為一種新的無導軌測量工具。本專業培養具備精密儀器設計制造以及測量與控制方面基礎知識與應用能力，能在國民經濟各部門從事測量與控制領域內有關技術、儀器與系統的設計制造、科技開發、應用研究、運行管理等方面的高級工程技術人才。惠州激光干涉儀厚度測量

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