加工陶瓷吸盤要注意什么?陶瓷吸盤因為其硬度高、耐磨、耐腐蝕等諸多優(yōu)良特性,在各領(lǐng)域中得到了普遍使用。隨著技術(shù)發(fā)展,各種新型特種陶瓷也漸漸進入大家的視野,現(xiàn)在特種陶瓷已成為良好的結(jié)構(gòu)材料和功能材料。它們具有比傳統(tǒng)陶瓷更高的耐溫性能,力學性能,特殊的電性能和優(yōu)異的耐化學性能。而陶瓷吸盤其本身材料就是特種陶瓷之一——氧化鋯陶瓷。氧化鋯陶瓷是一種新型高技術(shù)陶瓷,除了有強度高的、硬度、耐高溫、耐酸堿腐蝕及高化學穩(wěn)定性等性質(zhì),同時還具有抗刮耐磨、散熱性能優(yōu)良等特點,這一系列的特點,導致其在加工過程中難度直線上升。氧化鋯陶瓷的硬度可以說是只次于金剛石,所以不能用加工普通金屬的方法去加工氧化鋯陶瓷。陶瓷吸盤加工精度高,光潔度好,因為陶瓷吸盤當工件在加工過程中發(fā)熱而變形時,能夠自由伸長。上海陶瓷吸盤
在進行解鍵合工藝時會用多孔吸盤來吸附100um厚度的半導體晶圓,此項工藝作業(yè)時會將鍵合粘結(jié)劑與鍵合wafer上的金屬殘留在多孔吸盤上。殘留的有機粘結(jié)劑雜質(zhì)在溫度120℃時處于完全液態(tài),易被吸附進多孔吸盤的孔洞內(nèi),而其中無機物金屬顆粒(例如ni-auge合金)通常是附著在多孔吸盤的表層。有機粘結(jié)劑在加熱狀態(tài)下液化,受真空吸附力影響會流動到多孔吸盤的孔洞內(nèi),金屬顆粒會在此加熱狀態(tài)下進行一定程度延展拉伸式的合金化,合金化金屬結(jié)合力會增強,從而造成有機粘結(jié)劑在多孔吸盤的孔洞內(nèi)和表面存在,合金化金屬覆蓋在有機粘結(jié)劑表面并將有機粘結(jié)劑進行包裹。廣州精密陶瓷吸盤供貨報價陶容吸盤又稱多孔陶瓷,同時稱之為納米微孔真空吸盤。
傳統(tǒng)的陶瓷吸盤都是一體式結(jié)構(gòu),直接安裝在工作臺上。在晶片磨削過程中,往往伴隨著大量顆粒和污水,并且會進入吸盤和工作臺之間,造成精度誤差;在晶圓拋光和清洗過程中,拋光液和水霧進入工作臺,還會引起設(shè)備的腐蝕生銹;在晶片的加工中,由于碎片導致工作臺堵塞會影響設(shè)備運轉(zhuǎn),極大地降低了生產(chǎn)效率。然而,當發(fā)生以上設(shè)備常見問題時,傳統(tǒng)的一體式真空吸盤,拆卸清理維修時又必須將整個吸盤,以及連接在吸盤上的各種真空接頭,管路一起拆卸,極為不便。并且由于一體式的結(jié)構(gòu),防水布置困難,易發(fā)生工作臺系統(tǒng)腐蝕生銹,也難以局部更換。
陶瓷吸盤是利用真空吸附原理固定工件的承載平臺,經(jīng)過特殊的納米粉體工藝制作而成,通過高溫燒結(jié)在材料內(nèi)部彼此連接或閉合。公司生產(chǎn)的微孔陶瓷吸盤可以和國內(nèi)外主流設(shè)備配套使用,具有優(yōu)越的性能。陶瓷吸盤的主要特點:孔徑分布均勻,組織致密均勻,顆粒粗細均勻,透氣性好,吸附力均勻,表面光滑平整。多種孔徑規(guī)格可選,方形\圓形可選。可加工2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸半導體片,可配套減薄機、劃片機、清洗機等設(shè)備。陶瓷吸盤的基本尺寸精度可以控制在0.01mm左右。
陶瓷真空吸盤的吸附性能隨孔徑的變化而變化。對于超微孔陶瓷和超微孔陶瓷,孔徑是分子直徑的幾倍。在吸附過程中,孔壁圍繞著被吸附的分子,孔中的范德華力非常強;對于中孔和大孔,孔徑比吸附分子的直徑大10倍以上,并且發(fā)生典型的毛細管冷凝。根據(jù)孔隙的形狀,有時會出現(xiàn)吸附滯后等一系列現(xiàn)象。為了正確分析材料孔隙體積和孔徑,需要對材料孔隙結(jié)構(gòu)有清楚的了解,選擇正確的預處理方法(溫度、大氣、真空等)和適當?shù)姆治瞿P停缓螳@得準確科學的實驗結(jié)果。由于其特殊的結(jié)構(gòu),對多孔陶瓷材料具有高比表面積、高孔隙率、高吸附性等許多優(yōu)異的物理化學性能,普遍應(yīng)用于半導體、化工、環(huán)保、功能材料等領(lǐng)域。氣體吸附是表征多孔材料孔隙結(jié)構(gòu)的重要方法之一。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,裝置應(yīng)用于平坦,無孔表面的工作平臺。深圳碳化硅多孔陶瓷吸盤供應(yīng)費用
陶瓷吸盤主要材料包括95-99.9%氧化鋁,氧化鋯,以及氮化硅,碳化硅,氮化鈦陶瓷。上海陶瓷吸盤
微孔陶瓷吸盤在防腐蝕,抗氧化,抗冷熱沖擊這幾方面擁有的優(yōu)勢:微孔陶瓷吸盤的熱容量小,它本身不蓄熱,可以直接散熱,微孔陶瓷吸盤不會像金屬散熱片一樣形成“熱 階梯”,影響它的散熱性能。微孔陶瓷吸盤比較大的特點,它本身就是微孔洞的結(jié)構(gòu),這種工件增加了與空氣接觸的面積,可以大幅度增強它的散熱性效果,同比條件下,微孔陶瓷材料的散熱效果比超銅、鋁,密閉環(huán)境下,主動輻射散熱能力8.8倍與金屬材料,散熱優(yōu)勢更加明顯。微孔陶瓷吸盤本身具備有絕緣、耐高溫、抗氧化、耐酸堿、耐冷熱沖擊、熱膨脹系數(shù)低,從而還保證了在高低溫環(huán)境或者其他惡劣環(huán)境下陶瓷散熱片的穩(wěn)定性。上海陶瓷吸盤
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