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干涉測量隔振臺輪廓測量應用

來源: 發布時間:2022-03-31

TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振從0.7Hz到100Hz在21世紀納米技術(即先進的半導體帶表相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產),振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環境的抑制因素。在納米技術中,為了獲得可靠的結果,使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動,此時需要主動隔離。先進的主動式隔振系統“TS系列”將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發展目前的技術和測量、創新和發展未知的技術。裝載設備:掃描電子顯微鏡,如AFM3D表面分析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面張力測量系統,顯微硬度測量儀,醫療檢測設備等。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內為激光干涉計、微檢測設備等提供極好的隔振效果。干涉測量隔振臺輪廓測量應用

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地板上沒有AVI產品加速度的數據。(圖中橫坐標為頻率,縱坐標為加速度)加上AVI產品開啟隔振功能后,加速度的數據。(圖中橫坐標為頻率,縱坐標為加速度)HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低頻感應器LFS-3性能LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz.感應器直接放到地板上和AVI系列產品連在組成一個正向循環可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產品。如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。謝謝!瑞士隔振臺原理TS-140的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db。

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使用AVI系統時,系統只能插入單獨接地的插座。無論是在插座處,還是使用未接地的延長電纜,都不要斷開此接地。如果您懷疑系統以任何方式不安全,請拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯系蕞近的服務中心。在打開此設備之前,請確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或讓任何金屬物體進入通風槽。在取下任何蓋子之前,斷開電源。請向合格人員咨詢服務。不要在可能報炸的環境中使用。保險絲位于控制單元后側的電源插座中。未先拔下電源線,不要試圖更換保險絲。只能更換類型正確的保險絲。不要試圖繞過保險絲。確保控制單元中的通風縫沒有被覆蓋,并且空氣可以自由循環。堵塞狹縫可能導致過熱,從而引發火災。對于控制單元和隔離元件之間的連接,瑾使用提供的D-Sub 15電纜(m/f)。

手次使用AVI系統時,將前面板隔離開關設置為關閉(黑色旋鈕熄滅)。打開電源。電源指示燈現在將點亮,16個顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時閃爍。如果出現劇烈振動或把手放在桌面上,部分或全部LED將閃爍。打開電源約30秒后,您可以將隔離開關推到打開位置(黑色旋鈕進入)。黃色LED現在將一直亮起,表示系統正在隔離。把手輕輕地放在桌面上。可能會有一個或多個LED亮起,表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。簡單,用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進行復雜的過程。

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LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標準AVI/LP系統結合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現有的AVI-LP系統。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統。將傳感器連接到AVI/系統?傳感器LFS-2具有單獨的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。AVI 的隔振性能在負載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。干涉測量隔振臺輪廓測量應用

HERZ在被動式隔振系統產品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發的先進主動式隔振系統。干涉測量隔振臺輪廓測量應用

AVI400-SAVI400-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,最大負載為800公斤。通過增加緊湊型模塊的數量,可以輕松實現對更高負載的支持。為了使AVI400-S適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-S的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能AVI400-S系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性AVI400-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-S緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設備(例如SEM)時,避免了任何復雜的過程。技術指標:頻率:1,2-200Hz負載范圍:0-800公斤(單個):400公斤干涉測量隔振臺輪廓測量應用

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